Оборудование

 

 

 

 

VEGA 3

 


VEGA 3

 

Серия VEGA была спроектирована для широкого круга применений и потребностей в современных областях науки и промышленности. Все наработки за десятилетнюю историю непрерывного развития микроскопов серии Vega были воплощены в третьем поколении.

Основные особенности поколения VEGA 3

  • Новейшая высокоэффективная электроника для быстрого накопления изображений и обработки сигналов
  • Высокоскоростная система сканирования нового поколения с компенсацией статических и динамических искажений
  • Дополнительные режимы сканирования благодаря использованию оригинальной электронной оптики Wide Field Optics™
  • Уникальная технология Tescan In-Flight Beam Tracing™ позволяет оптимизировать параметры электронного пучка в реальном времени
  • Обновленное программное обеспечение с высоким уровнем автоматизации
  • Программное обеспечение со встроенным языком программирования (Python) для расширения возможностей пользователей

Современная электронная оптика

  • Уникальная четырехлинзовая электронная оптика Wide Field Optics™, предназначенная для получения изображений в различных режимах.
  • Запатентованная промежуточная электромагнитная линза (IML) выполняет функции устройства для смены финальной апертуры.
  • Линзы и катушки изготовлены из высококачественных материалов, что обеспечивает ультравысокую скорость сканирования (вплоть до 20 нс/пиксель) с минимизированными динамическими эффектами искажения.
  • Обновленная технология In-Flight Beam Tracing™ для контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка электронов в реальном времени.
  • Исполнение колонны без механически центрируемых элементов позволяет сделать настройку и регулировку электронно-оптической системы полностью автоматической.
  • Уникальное «живое» стереоскопическое изображение, использующее 3D Beam Technology, открывает удивительные возможности для 3D исследований микро- и наномиров.

Аналитический потенциал

  • Чувствительные детекторы электронов с высококлассными YAG кристаллами.
  • Широкий выбор детекторов и аксессуаров.
  • Интерфейсных порты камеры с оптимальной геометрией для установки детекторов EDX, WDX и EBSD.
  • Мощные турбомолекулярный и форвакуумный насосы обеспечивают достижение рабочего вакуума за несколько минут.
  • Исследования непроводящих образцов в их естественном состоянии при переменном уровне вакуума в камере образцов.
  • Несколько типов подвески камеры образцов и колонны на выбор для эффективного снижения влияния внешних вибраций.
  • 3D-измерения реконструированной поверхности с использованием интегрированного ПО.

Модели VEGA 3

На данный момент серия VEGA 3 представлена 6 моделями отличных микроскопов различающихся по размеру камеры образцов, диапазоном перемещения столика, возможностью работы в переменном вакууме и антивибрационной подвеской для защиты от внешних вибраций.

Два типа вакуумной системы:

  • VEGA HiVac – Модель для работы при высоком вакууме в камере образцов 10-3 Па.
  • VEGA UniVac– Модель микроскопа для работы с переменным вакуумом, сохраняющая преимущества модели с высоким вакуумом, дополненная техническими возможностями для исследования непроводящих образцов в их естественном состоянии (без нанесения токопроводящего слоя) во всех рабочих режимах при давлении до 150 Па, и в режимах Разрешение и Глубина при давления до 500 Па. (Дополнительно доступна возможность работы при давлении в камере образцов до 2000 Па).

 

VEGA HiVac - Модели для работы при высоком вакууме в камере образцов

  • VEGA 3 SBH - средняя камера, моторизованный столик образцов, механическая подвеска
  • VEGA 3 LMH - большая камера, увеличенный диапазон перемещения столика, пневматическая или активная электромагнитная подвеска
  • VEGA 3 XMH - увеличенная камера образцов, расширенный диапазон перемещения столика, пневматическая или активная электромагнитная подвеска

VEGA UniVac - Модели для работы при переменном вакууме в камере образцов

  • VEGA 3 SBU - средняя камера, моторизованный столик образцов, механическая подвеска, возможность работы при переменном вакууме
  • VEGA 3 LMU - большая камера, увеличенный диапазон перемещения столика, пневматическая или активная электромагнитная подвеска, возможность работы при переменном вакууме
  • VEGA 3 XMU - увеличенная камера образцов, расширенный диапазон перемещения столика, пневматическая или активная электромагнитная подвеска, возможность работы при переменном вакууме